等离子处理设备

2016-11-03

本实用新型提供了一种等离子处理设备,包括具有腔体的壳体和位于该腔体内部的电极板，所述电极板的内部开有可供冷却流体介质流经的流道。优选地,所述电极板上设有间隔分布的冷却流体介质流入管和冷却流体介质流出管，所述冷却流体介质流入管与所述流道的入口对接，所述冷却流体介质流出管与所述流道的出口对接。与现有技术相比,本实用新型由于在电极板内部开有冷却流体介质流道，当冷却流体介质流经该冷却流体介质流道时可对电极板进行冷却，使电极板的温度保持在基本恒定的状态，从而提高了等离子处理设备的处理均匀性，改善了处理效果。