等离子处理机设备真空系统设计

2016-11-25

等离子处理设备真空系统设计
为使大尺寸印制板能够进行低温等离子处理，设计了大型等离子处理设备，该设备具有真空度可调 的真空系统、电极可冷却的电源系统及基于可编程逻辑控制器（ProgrammableLogicControl，PLC）和触摸屏的控制系统。文中简要介 绍了大型等离子处理设备的组成及工作方式，详细阐述了真空系统设计，包括真空泵组选型计算和基于有限元的真空腔体结构优化设计。实践证明，该设备具有等离 子体产生速度快、腔体温度控制效果好等特点，达到了国内领先水平。

用于等离子表面处理设备的喷头电极总成的温度控制模块
一种用于半导体材料等离子处理室的喷头电极总成的温度控制模块包括：加热器板，适于固定于该喷头电极总成的顶部电极的顶面，并且提供热量至该顶部电极以控制该顶部电极的温度；冷却板，适于固定于该喷头电极总成的顶板的一个表面并与之隔热，以及冷却该加热器板并控制该顶部电极和加热器板之间的热传导；以及至少一个热力壅塞，适于控制该加热器板和该冷却板之间的热传导。

用于等离子处理设备的喷头电极总成的温度控制模块
一种用于半导体材料等离子处理室的喷头电极总成的温度控制模块包括：加热器板，适于固定于该喷头电极总成的顶部电极的顶面，并且提供热量至该顶部电极以控制该顶部电极的温度；冷却板，适于固定于该喷头电极总成的顶板的一个表面并与之隔热，以及冷却该加热器板并控制该顶部电极和加热器板之间的热传导；以及至少一个热力壅塞，适于控制该加热器板和该冷却板之间的热传导。