我在用等离子清洗机对材料表面进行改性处理时遇到这样的问题

2016-12-07

1. 键合玻璃和PDMA聚合物，由于设备的高压放电，plasma阶段发出明亮的弧光，键合的效果很好。(这个没有问题。)

2. 理论上讲，用等离子清洗机可以对材料表面进行改性处理，如由疏水性变成亲水性。还是这个设备，对我自己做的一个小东西进行表面疏水变亲水的处理。需要处理的关键部位尺寸很小，只有1微米间距的电极阵列，总体尺寸只有几个毫米。有两三次实验的过程中，一直没有看到明亮的弧光。我很诧异。后来为了搞清楚，我把我的小东西取出来，等离子室空着进行空载运行，是可以看到往常的那种蓝色弧光的。这证明设备本身不存在故障。

我的问题是：
为什么会出现plasma失败的情况？难道和我的材料有关吗？整个小设备的关键材料是微小的铝电极阵列，外围有部分铜，有玻璃，有透明胶带。

考虑一下设备电极的结构，是否由于样品是导体改变了等离子体产生的电场分布或其强度。
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