真空等离子，真空等离子表面处理机

2016-12-14

系列等离子表面处理设备，等离子表面清洗设备
系列真空等离子表面处理机系统为各实验室的科学研究和检验提供完美的服务。通过滑动前门手动装载样品。

真空等离子设备特点：
•  操作简便
•  精密的气体流量控制
•  完全自动化
•  灵活的多工艺处理设置和组合 合
•  均匀稳定的等离子
•  一体化计算机控制的工艺过程
•  远程数据共享与存储
 
真空等离子设备典型应用：
系列真空等离子表面处理系统适用于实验室及小批量生产，是小部件纳米清洗、表面活化 、 表面改性的理想选择。
通过内部预设程序和采用不同的气体来产生化学活性的等离子来轻松完成对材料及样品表面的清洗、脱脂、还原、活化、清除光刻胶、刻蚀、涂层等。
在用原子力显微镜（ （AFM ）、 扫描电镜（SEM ）或透射电镜（ （TEM ）对样品成相前 使用氧气等离子来清除样品表面吸附的碳氢污染从而获得更好的分辨率和真实的材料结构信息。用来培养生物细胞、生物样品的器皿及设备可采用真空等离子灭菌来实现低温、快速清洁灭除害细菌病毒。
各类材料通过表面涂层，实现疏水性（疏水）、亲水性（亲水）、疏脂性（防脂）、疏油性（防油）。Flecto ® 系列真空等离子表面处理系统适用于物理、化学、表面科学、功能材料、包装封装、医学工程、生物、纺织、塑料、电器汽车、工业半导 体、微电子、集成电路的研究开发及工艺处理过程。

用户操作界面 
6.5 英寸触摸屏，工业电脑，装有 PlasmaAnt 软件PlasmaAnt 软件
•  可实现连续性或交替性的一系列等离子处理工序的组合
•  存储数据及工序 可移动的窗口
•  数据，工序可借助工序处理日志做存档记录
•  操作简单
•  数据存储在电脑上 可以连接网络关键可调工艺参数 
1．真空压力
2．等离子发生器功率
3．气体类型和数量
4．工艺处理时间
远程维护 
通过互联能网远程登陆，支持和故障排除
北京欧倍尔科学仪器有限公司