等离子清洗机材料键合机
2016-12-23
等离子清洗机材料键合机原理
通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
等离子清洗机材料键合机应用范围:
主要针对材料表面的处理,根据需要可以实现物理变化和化学发应。
等离子清洗设备材料键合机参数:
序号
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型号
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CPC-A
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CPC-B
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CPC-C
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1
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舱体尺寸
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275X110(直径)mm
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295X150(直径)mm
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295X150(直径)mm
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2
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舱体容积
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2.6L
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5.2L
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5.2L
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3
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射频频率
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40KHz
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40KHz
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13.56MHz
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4
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射频功率
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10-200W无极可调
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10-200W无极可调
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10-150W无极可调
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5
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电 源
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220V 50/60HZ
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220V 50/60HZ
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220V 50/60HZ
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6
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电 流
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1.2A
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1.2A
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1.2A
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7
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时间设定
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1-99分59秒
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1-99分59秒
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1-99分59秒
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8
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气体稳定时间
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1分钟
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1分钟
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1分钟
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9
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真空度
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100pa以内
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100pa以内
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100pa以内
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10
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等离子激发方式
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电容式
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电容式
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电容式
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11
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外形尺寸L*W*H
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480*450*265mm
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520*450*290mm
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520*450*290mm
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12
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整机重量
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15Kg
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20Kg
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25Kg
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