真空等离子清洗机是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。

2016-12-26

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗机和等离子刻蚀设备的公司,是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz、80KHz、13.56MHz，以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子表面处理设备。
 
目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品，以保证性能技术稳定。

立足于中国市场需求，Diener推出低温等离子煤化仪PCA系列，共三款设备，满足不同用户的需求。
FCA100半自动控制，发生器13.56MHz/0~100W
FCA200全自动控制，发生器13.56MH 2.45GHz/0~300W，温控系控　单路气体
FCA300全自动控制，发生器13.56MHz 2.45GHz/0~300W，温控系统　双路气体

产品特点：
ü 柜式结构，真空泵内置，有效节约占地面积。
ü 万向底轮设计，方便设备移动。
ü 高强度石英石玻璃腔体，易清洁、耐腐蚀。 
ü 置物方式多样化，可平放、可悬挂。
ü 外置环形电极，有效避免对腔体内的污染。
ü 真彩色全中文界面触摸屏，画面清晰，操作方便。
ü PLC自动控制，功能齐全，所有运行参数可自行设置并监控，主要功能包括：手动模式/自动模式任意切换、PID自动调节、自动操作、自动报警功能（如：相序异常、真空泵异常、真空泵过载、气体报警、放空报警、电源无功率输出报警、真空度过高报警、真空度过低报警等）、实时监控画面、配方管理及密码管理功能。 

应用范围：
适用于实验各种材料的表面改性处理，包括：清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。