Plasma Cleaning SystemPE25小型实验室等离子表面处理机

2017-01-03

低温等离子体（Plasma）应用已经是一个具有全球影响的重要的科学与工程，对高科技经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。三分之一微电子器件设备采用等离子体技术，高分子材料百分之九十都要经过低温等离子体清洗和等离子体表面处理。科学家预测：二十一世纪低温等离子体科学与技术将会产生突破，低温等离子清洗机、等离子处理机、等离子表面处理设备在半导体工业、聚合物薄膜、生命科学、等离子体合成、等离子体三废处理等领域相对传统工艺将有革命性的改变。

烟台金鹰科技有限公司成立于1995年，是专业从事真空及大气、低压及常压等离子清洗机、等离子处理机、等离子刻蚀机、等离子去胶机、等离子灰化机、等离子处理器、等离子体清洗机、电浆清洗器，等离子表面处理机、等离子表面处理设备厂家。生产工厂位于“中国金都”之称山东招远市国家级经济开发区，公司品牌商标为:"戈德尔-Guarder”，引进德国先进等离子体应用技术及等离子表面处理技术，其系列产品覆盖全国大部分省市，并出口北美、澳洲、中东、东南亚等地区。低温等离子体（Plasma）应用已经是一个具有全球影响的重要的科学与工程，对高科技经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。三分之一微电子器件设备采用等离子体技术，高分子材料百分之九十都要经过低温等离子体清洗和等离子体表面处理。科学家预测：二十一世纪低温等离子体科学与技术将会产生突破，低温等离子清洗机、等离子处理机、等离子表面处理设备在半导体工业、聚合物薄膜、生命科学、等离子体合成、等离子体三废处理等领域相对传统工艺将有革命性的改变。

方端科技有限公司成立于1995年，是专业从事真空及大气、低压及常压等离子清洗机、等离子处理机、等离子刻蚀机、等离子去胶机、等离子灰化机、等离子处理器、等离子体清洗机、电浆清洗器，等离子表面处理机、等离子表面处理设备厂家。生产工厂位于“中国金都”之称山东招远市国家级经济开发区，公司品牌商标为:"戈德尔-Guarder”，引进德国先进等离子体应用技术及等离子表面处理技术，其系列产品覆盖全国大部分省市，并出口北美、澳洲、中东、东南亚等地区。

方端拥有多项发明专利，在开发和制造等离子设备方面有许多突破性创新，公司拥有等离子体技术和制造技术领域里尖端的技术。这些专利技术的产品线是公司独有的，生产的等离子设备是业界公认的集清洗速度、完整均匀性、安全可靠性为一体的等离子处理设备。

小型等离子表面处理设备是专门针对于大学，研究机构和工厂研发设计的小批量样品处理装置.作为有针对的设计，突出移动方便，超高功能和性能，操作方便的使用特性。
设备特点:
1. 体积小，(宽356mm*高368mm*深457mm)，配备小型真空泵，无需占用很大空间，可以放置在任何实验台上。

2. 性能可靠，“度量”宽大。真空腔体采用T6061经过特殊处理的航空铝合金材料无缝焊接，电极面积达到89mm*170mm，腔体与电极之间的间隙可到53mm，可以轻松将大部分实验样品放入真空腔体内。

3. 配置灵活，PE25拥有灵活多变的参数配置组合，能够满足使用者的不同需求。除了配置不同的频率（50KHz，13.56MHz），不同的频率段，还提供不同的功率以供用户选择。在控制系统上，也配置了面板控制和更精准的全数字电脑控制，以满足用户的使用要求。

4. 操作简便，设备的安装非常简单，工厂还提供详尽的说明和相应的管道等配件。面板的操作部分，在设计中做到尽可能简单和避免误操作。一般操作人员在极短的时间内就可以熟练操作，甚至只需要几分钟就可掌握。

5. 安全保障：在小型设备中，唯一引入一键急停保护按钮，当参数设置有误而设备已经启动的时候，可以快速终止实验，以最小程度降低因操作失误而造成对样品的损害。
PE-25参数：
外部尺寸： W14''xH14.5''xD18'' 重量：52磅?耐用的焊接6061 T6铝合金真空腔；?真空腔尺寸：5''IDx8''D?等离子发生器：功率 max.150w（可调） 频率：50KHz（选配13.56MHz）
供气：气体流量控制器 0-25cc/min w/精密针形阀。
压力测量：热电偶真空计 0-1Torr.
电源：220VAC，14A 供气：6mm连接件
控制器：PLC微电脑控制系统。方案工艺可以进行自动处理。
抽气装置：推荐型号：5 CFM 2级 直驱真空油泵氧气发生器附加第二气体通道。附加第二气体控制器，0-25cc/min100w, 13.56Mhz可自动调节射频发生器
升级装置：
PC /笔记本电脑的控制系统：装载有等离子蚀刻软件的一台笔记本电脑是包括全自动系统操作，流程排序，多配方存储，以及其他高级功能。
质量流量控制器：附加质量流量控制器也可提供。