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等离子清洗机的密度和激发频率有如下关系

2017-09-14

等离子态的密度和激发频率有如下关系:  
nc=1.2425×108v2   其中nc为等离子态密度(cm-3),v为激发频率(Hz)。   
常用的等离子体激发频率有三种:激发频率为40kHz的等离子体为超声等离子体,13.56MHz的等离子体为射频等离子体,2.45GHz的等离子体为微波等离子体。   
不同等离子体产生的自偏压不一样。超声等离子体的自偏压为1000V左右,射频等离子体的自偏压为250V左右,微波等离子体的自偏压很低,只有几十伏,而且三种等离子体的机制不同。超声等离子体发生的反应为物理反应,射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应,微波等离子体发生的反应为化学反应。超声等离子体清洗对被清洁表面产生的影响最大,因而实际半导体生产应用中大多采用射频等离子体清洗和微波等离子清洗机

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