方瑞等离子清洗机使用方法操作小技巧

2017-11-03

等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，从而实现清洁，改性，光刻胶灰化等目的。

三通阀指向关闭状态（箭头向下），此时一般为抽真空状态下的操作

A、 首先接通电源，开动真空泵，看真空泵的旋转方向为顺时针（检测后，关闭电源）；

B、在真空泵与等离子清洗机密封连接的前提下，开动真空泵，然后用反应舱盖盖住反应舱，让真空泵转大约5分钟。此时真空泵在抽真空舱体内的空气（此时等离子清洗机处于关机状态）；

C、大约五分钟后，等离子舱体就会慢慢产生辉光。

A、 抽空真空舱内的空气

a、放置样本入舱内；

b、关闭三通阀（箭头朝下）；

c、握住清洗机门靠近真空舱；

d、 开启真空泵上的电源开关，等几分钟待抽空舱内空气，清洗机门合上。

B、 抽气

a、打开三通阀与室内空气相通，（lever指向针形阀needle valve）；

b、轻轻打开针型阀，让空气进入清洗机舱内。(needle valve要先关闭)。

C、 形成等离子

a、开启等离子清洗机前面控制面板的电源开关；

b、用RF开关，选择适当的RF频率；

c、透过等离子侧面或是上面的孔观测，直到看到辉光。空气的辉光发电应该是紫粉色。这显示等离子产生了；

d、 轻轻调节针型阀，直到等离子密度明显最大化。

D、 等离子处理

a、按所需时间处理样本；

b、处理完毕后，把RF关掉（off）；

c、关闭等离子清洗机。

注意事项

A、在断电的情况下，检查等离子清洗机尾部电源边的保险盒内的保险管是否正常，无烧断迹象；如果此项检测失败，建议更换相匹配保险管

B、接通电源（打开等离子机控制面板左下角的电源开关），测试RF档位处于低、中、高时（LOW/MED/HI）荧光灯是否都点亮（荧光灯置入反应舱内，用手悬空拿着；一般在低档位时比较难点亮，建议依次从高档位开始）。如果此项检测失败（荧光灯未点亮，证明等离子机内部的真空管或是电子部件烧毁。），需要联系厂家更换或是维修。